| 发明名称 |
光酸产生剂及包含该光酸产生剂的光阻组成物 |
| 摘要 |
本发明系关于新颖光酸产生剂化合物及包括该化合物之光阻组成物。特定言之，本发明系关于包括多环内酯部分之光酸产生剂化合物。 |
| 申请公布号 |
TWI407252 |
申请公布日期 |
2013.09.01 |
| 申请号 |
TW099120200 |
申请日期 |
2010.06.22 |
| 申请人 |
罗门哈斯电子材料有限公司 美国 |
发明人 |
李铭启;徐承柏;阿葵德 恩媚德;刘琮 |
| 分类号 |
G03F7/004;C07D307/77;C07D327/04;G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区博爱路35号9楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路35号9楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
