洁净系统

摘要

本发明能在无需对洁净滚筒实施维护作业之情况下，长期持续进行洁净滚筒对异物的吸附动作。;洁净滚筒11系边接触被洁净材S之表面边旋转而相对移动，利用静电力以去除在被洁净材S之表面上所附着的尘埃等异物。转印滚筒21系边接触洁净滚筒11之表面边旋转。洁净滚筒11系透过稳压电路12而接地，在滚筒表面能稳定的带有能藉该静电力进行吸附的电荷。转印滚筒21，在表面能带有用以藉静电力来吸附在洁净滚筒11表面上所附着异物的电荷，连接有外部电源31，系将用以藉该静电力来吸附该异物之带电压保持于一定。