正向可光成像之底部抗反射涂层

摘要

本发明系关于一种正向底部可光成像之抗反射涂层组合物，其能够于硷性显影剂水溶液中显影，其中该抗反射涂层组合物包含：聚合物，其包含至少一具有发色团之重复单元，及一具有一羟基及/或一羧基之重复单元；乙烯醚终端之交联剂；及视情况之光酸产生剂及/或酸及/或热酸产生剂。本发明进一步系关于一种使用此组合物之方法。