静电卡盘及用于处理包含静电卡盘之基板之装置

摘要

一种用于处理一基板之一装置之静电卡盘包含：一主体；一绝缘板，其附着至该主体之一顶部表面上，其中该基板安置于该绝缘板上；一电极，其在该绝缘板中；一温度控制单元，其包含该电极下及该绝缘板中之一加热单元及一冷却单元；以及一热传导单元，其安置于该电极与该温度控制单元之间。