使用次要处理工厂进行快速传导冷却的方法与设备

摘要

本发明描述一种热处理一基材的方法和设备。该设备包括适合藉由磁性驱动而线性移动与/或旋转移动的基材支撑件。该基材支撑件亦适以接收辐射热源以在腔室的一部分中提供加热区。包含冷却板的主动冷却区系与加热区相对设置。该基材可在该两个区域之间移动以便于快速可控式加热和冷却基材。