用以使玻璃基板平滑之方法，及由该方法所得供ＥＵＶ微影技术中之反射性光罩基底用的基板

摘要

提供一种用以使具有下凹缺陷(如，凹点或刮痕)的玻璃基板表面平滑之方法。;一种用以使其上具有下凹缺陷的玻璃基板表面平滑之方法，包含：藉无水淀积法，在具有下凹缺陷的玻璃基板表面上形成膜，此膜包含流动点Tf为150℃或以上且不高于玻璃基板之应变点Ts(℃)的玻璃材料；及于不低于Tf且不高于Ts的温度加热此玻璃材料的膜，而使得膜处于玻璃材料的膜可流动以掩埋下凹缺陷的状态，之后冷却玻璃材料的膜，藉此而使得具有下凹缺陷的玻璃基板表面平滑。