太阳能晶圆倍速光电检测系统、检测方法及检测机台

摘要

一种太阳能晶圆倍速光电检测系统、检测方法及检测机台，系供用以检测复数待测太阳能晶圆，机台包含一个基座，于基座上设置复数道输送带，用以同时承载及移动多个待测太阳能晶圆进行检测，机台上还设有光学检测系统及倍速光电检测系统，由光学检测系统同时进行各输送带承载之晶圆表面及颜色的检测作业后，再由倍速光电检测系统藉由同一个光源进行光电检测，令各个晶圆于光电检测后所得数据具有相同的比较值，并规划检测时的动线，以增加其检测的效率，最后将各个检测数据传至分类系统做为分类的依据。