微影系统，感测器及测量方法

摘要

用以测量一带电粒子束系统(尤指一直接写入微影系统)之大量带电粒子束之特性的微影系统、感测器、以及方法，其中：会使用一转换元件将该等带电粒子束转换成光束；使用一由复数个光敏侦测器(如二极体、CCD或是CMOS装置)所组成之阵列来侦测该等光束，其中该等光敏侦测器会和该转换元件成直线排列；于该等光束对该等侦测器进行曝光之后以电子方式从该等侦测器中读出生成信号；运用该等信号来决定一或多项粒子束特性的数值，从而使用一自动电子计算器；依据该等经算出的特性数值，以电子方式来调整该带电粒子系统，用以修正该等带电粒子束中全部或是其中数道带电粒子束超出规格范围的一或多项特性的数值。