用于干涉调变器之微机电操作的系统及方法

摘要

本发明揭示一种藉由一驻留层与一面对该驻留层之反射镜而形成之干涉调变器。该反射镜可在非驱动与受驱动位置之间移动。在该驻留层与该反射镜中的至少一者上面形成着陆垫、凸块或弹簧夹。该等着陆垫、凸块或弹簧夹能防止在该反射镜处于该受驱动位置时该驻留层与该反射镜互相接触。当该反射镜处于该受驱动位置且与该等弹簧夹接触时，该等弹簧夹朝该非驱动位置对该反射镜施加力量。