| 摘要 |
本发明揭示一种光束调节单元，其系提供于微影装置之照明系统中以增加一照明光束之时间脉冲长度及光扩展性两者，其中该时间脉冲长度增加减少透镜元件之降级，同时在与该光束之一光扩展性增加组合时导致一斑点减少。该脉冲调节单元经组态以接收一输入辐射脉冲且经进一步组态以发射一或多个对应输出辐射脉冲，其包括经组态以将该入射脉冲划分成一第一脉冲部分及一第二脉冲部分之一光束分光器，其中该光束分光器经进一步组态以沿着一第二光径来引导该第一脉冲部分，其中该第二部分经引导于一第一光径上以作为一输出光束之一部分。该第二光径经组态以包括一发散光学元件，藉以发散光学元件角度可增加该光束之发散而不减小光束尺寸，因此增加该光扩展性。各自具有一曲率半径之一第一镜面及一第二镜面经安置成以一预定分离度面向彼此，其经组态以接收该第二脉冲部分且重新引导该第二部分，使得通过该脉冲调节器之该第二部分之该光径长于该第一部分之该光径，且该分离度小于曲率半径。 |
