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发明名称 MOVING BODY SYSTEM, PATTERN FORMING DEVICE, EXPOSURE APPARATUS, MEASURING INSTRUMENT, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 HK1136622(A1) 申请公布日期 2013.08.30
申请号 HK20100104395 申请日期 2010.05.04
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 SHIBAZAKI, YUICHI
分类号 G01D;G01B;G03F;H01L 主分类号 G01D
代理机构 代理人
主权项
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