| 发明名称 |
ABRASIVE, ABRASIVE SET, AND METHOD FOR ABRADING SUBSTRATE |
| 摘要 |
<p>This abrasive contains: water; an abrasive grit including a hydroxide of a tetravalent metallic element; and a specific glycerin compound.</p> |
| 申请公布号 |
WO2013125445(A1) |
申请公布日期 |
2013.08.29 |
| 申请号 |
WO2013JP53558 |
申请日期 |
2013.02.14 |
| 申请人 |
HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. |
发明人 |
MINAMI HISATAKA;AKUTSU TOSHIAKI;IWANO TOMOHIRO;FUJISAKI KOJI |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B37/00 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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