一种氧化锌基管状旋转靶材的制备方法

摘要

本发明涉及一种氧化锌基管状旋转靶材的制备方法，其特点是，包括如下步骤：以NH4HCO3为沉淀剂，采用化学沉淀法制备纯氧化锌粉末和含1-7at％原子比的Al掺杂氧化锌粉末，粉末预烧结团化整形后装入模具中，以300-340MPa进行冷等静压成型，制得70-75％相对密度素坯；再将素坯于氧化气氛中烧结后，再经加工即得旋转靶材。与现有技术相比，本发明的制备方法具有以下有益效果：素坯密度提高10-15％，降低了后期烧结中体积收缩率，使大长径比管靶烧结变形得到有效控制；烧成制度中，以流通氧气作为控制气氛，避免了成分变化及表面巨大气孔及由此产生的致密度降低。

主权项

一种氧化锌基管状旋转靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：以NH4HCO3为沉淀剂，采用化学沉淀法制备纯氧化锌粉末和含1‑7at%原子比的Al掺杂氧化锌粉末，粉末预烧结团化整形后装入模具中，以300‑340MPa进行冷等静压成型，制得70‑75%相对密度素坯，其中所述的预烧结团化整形，是在850‑1200℃下烧结1‑6hr，整形粒度分布于30‑50目之间，松装密度1.6‑2.0g/cm3；再将素坯于氧化气氛中烧结后，再经加工即得旋转靶材，其中氧化气氛是O2流通气氛，其中O2流量30‑300L/min，而其中烧结条件是室温RT‑850℃，升温速率5‑15℃/min，850‑1250℃，升温速率0.2‑1℃/min，然后1150‑1450℃保温烧结20‑30hr，之后按降温速率0.5‑1℃/min降温至800℃，之后自然降温。