一种化学气相沉积金刚石的装置

摘要

本发明提供了一种化学气相沉积金刚石的装置，涉及功能材料制备技术领域。本装置包括直流电弧喷射等离子炬，真空室，衬底，在真空室和等离子炬间设有气体回用机构。与已有技术对比，本发明很好地解决了现有技术利用直流电弧喷射法化学气相沉积金刚石过程中长期存在的气体消耗量大的问题,其结构简单，工艺合理，不仅能保证产品的质量，而且可大大节省工质气体用量，大大降低成本，减少排放，有利于环保，具有良好的经济效益和社会效益。

主权项

一种化学气相沉积金刚石的装置,包括直流电弧喷射等离子炬(1)，真空室(2)，衬底(3)，其特征在于在真空室(2)和直流电弧喷射等离子炬(1)间设有气体回用机构；所述的真空室(2)为封闭式结构，并设有和气体回用机构相连的出口，气体回用机构中设有增压泵（6），增压泵（6）的出气管和排气管及直流电弧喷射等离子炬(1)的进气管相连；真空室（2）的压力在几百帕至数千帕之间，增压泵（6）出口的压力在几千帕至十几千帕之间；所述的气体回用机构中设有真空室压力调节阀（5）, 增压泵（6）的排气管中设有增压泵出口压力调节阀（8）和排气泵（9）；所述的真空室(2)设有真空室压力测量真空计（4），增压泵（6）的出气管设有增压泵出口真空计（7）；所述的增压泵（6）为罗茨泵、爪子泵、螺杆泵中的某一种或几种的组合。