发明名称 | 一种离子氮化炉用堆放阴极输电装置 | ||
摘要 | 本发明提供一种新型用于离子轰击炉的堆放阴极输电装置,其特征在于安装在离子轰击炉底部。在金属内屏蔽套和金属屏蔽套之间形成了一个规定的“气隙保护”层。所述堆放阴极输电装置是通过电源线,电源线插头,阴极杆和导电架),把电流传到工件。本发明技术的主要优点是:①由于炉体所需的管路设计在弧形炉底外部的侧面,因此,维修方便。②由于炉底设计成弧形,所以耐压能力高,在同样条件下,可节省材料50%。③由于赃物沉积在弧形炉底的最低部,所以不会进入抽气泵中。 | ||
申请公布号 | CN103266296A | 申请公布日期 | 2013.08.28 |
申请号 | CN201310195650.1 | 申请日期 | 2013.05.24 |
申请人 | 大连经济技术开发区圣洁真空技术开发有限公司 | 发明人 | 田绍洁;回博阳 |
分类号 | C23C8/36(2006.01)I | 主分类号 | C23C8/36(2006.01)I |
代理机构 | 大连科技专利代理有限责任公司 21119 | 代理人 | 龙锋 |
主权项 | 一种新型用于离子轰击炉的堆放阴极输电装置,其特征在于安装在离子轰击炉底部。 | ||
地址 | 116600 辽宁省大连市开发区辽河西3路8号 |