一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器

摘要

本发明公开了一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对。电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状，外侧边缘为相互平行的直线，两个电极的长度相同。两个电极激发出的电场非对称分布，抑制纵波模式谐振和声表面波、次表面波等寄生杂波的产生，提高剪切波模式谐振的品质因数，从而在液体生化传感中具有更高的灵敏度和分辨率。

主权项

一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器，包括基片、声反射层、压电层以及设置于压电层表面的至少一对电极对，其特征在于，电极对中两个电极的内侧边缘为至少包含两个尖齿的锯齿形状，外侧边缘为相互平行的直线，两个电极的长度相同。