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经营范围
发明名称
SPUTTERING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING OXIDE SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号
KR20130095436(A)
申请公布日期
2013.08.28
申请号
KR20120016855
申请日期
2012.02.20
申请人
LG DISPLAY CO., LTD.
发明人
LEE, GEE JO;BYUN, SANG KEUN
分类号
H01L21/203
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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