短相干光多深度干涉测量装置

摘要

一种短相干光多深度干涉测量装置由短相干光源、光纤耦合器、变焦系统、光程扫描系统、光电探测器、转盘组成，变焦系统和光程扫描系统均设在同一转盘上。短相干光源发出的短相干激光进入光纤耦合器分成两束分别进入变焦系统和光程扫描系统，变焦系统发出的探测光聚焦于半透明被测物体表面，其反射光返回光纤耦合器，从光程扫描系统反射的光也返回光纤耦合器，该两部分反射光的其中一部分进入光电探测器，进行干涉并转化为电信号，计算被测物体表面深度位置。本装置是将变焦系统和光程扫描系统均布排在同一个转盘上，省去了传动装置，大大地提高了系统的测量精度，并使系统小型化。

主权项

一种短相干光多深度干涉测量装置，包括短相干光源（19）、光纤耦合器（20）、变焦系统（21）、光程扫描系统（22）和光电探测器（26），短相干光源（19）发出的短相干激光进入光纤耦合器（20）分成两束分别进入变焦系统（21）和光程扫描系统（22），变焦系统（21）发出的探测光（9）聚焦于半透明被测物体表面，其反射光返回光纤耦合器（20），从光程扫描系统（22）反射的光也返回光纤耦合器（20），该两部分反射光的其中一部分进入光电探测器（26），进行干涉并转化为电信号，计算被测物体表面深度位置，其特征在于：还设有旋转平台（4），所述变焦系统（21）和光程扫描系统（22）均设在同一旋转平台（4）上。