| 发明名称 | 成膜材料的回收方法 | ||
| 摘要 | 在腔室内构成物(70)的至少与成膜材料接触的部分，设置有包含能够被磁铁吸附的材料的层(71)。成膜材料的回收方法包括：剥离工序，将附着在腔室内构成物(70)的表面的附着物(22)剥离；和分离工序，使剥离工序中被剥离的包含能够被磁铁吸附的材料的层(71)的碎片吸附在磁铁(202a)上，从附着物(22)分离，从而回收附着物(22)。 | ||
| 申请公布号 | CN103270186A | 申请公布日期 | 2013.08.28 |
| 申请号 | CN201180060616.2 | 申请日期 | 2011.12.16 |
| 申请人 | 夏普株式会社 | 发明人 | 园田通;川户伸一;井上智;桥本智志 |
| 分类号 | C23C14/00(2006.01)I;B03C1/00(2006.01)I;B03C1/22(2006.01)I;H01L51/50(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 一种成膜材料的回收方法，其为将在设置于真空成膜装置的成膜腔室内的成膜夹具的表面附着的成膜材料剥离并回收的成膜材料的回收方法，该成膜材料的回收方法的特征在于：在所述成膜夹具的至少与所述成膜材料接触的部分，设置有包含能够被磁铁吸附的材料的层，所述成膜材料的回收方法包括：剥离工序，将附着在所述成模夹具的表面的成膜材料剥离；和分离工序，使在所述剥离工序中与成膜材料一起被剥离的所述包含能够被磁铁吸附的材料的层的碎片吸附在磁铁上，从所述成膜材料分离，从而回收所述成膜材料。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||