特定气体的浓缩、稀释装置以及特定气体的浓缩、稀释方法

摘要

特定气体的浓缩、稀释装置以及特定气体的浓缩、稀释方法，其中，在1个臭氧浓缩小室内，形成能够从臭氧化氧气中使臭氧选择性地结露或使氧气选择性地透过而被排出的冷却温度范围的部分和能够使结露的臭氧蒸气化的温度范围的部分，使结露的臭氧借助流体的流动或重力作用，移动至能够使上述结露的臭氧蒸气化的部分，使其蒸气化，由此可以使臭氧化氧气更高浓度化。填充于臭氧浓缩小室11、12内的结露、蒸气化粒子材料13为球形且侧面成为具有多个平面的特殊形状或是能够使臭氧气中的氧气选择性地透过的氧透过膜130。

主权项

特定气体的浓缩、稀释装置，其特征在于，该装置具备特定气体浓缩系统和气体供给‑取出系统，其中，所述特定气体浓缩系统包括在内部封装有能够使特定气体选择性地结露的结露、蒸气化用粒子材料或装有使特定气体以外的气体选择性地透过的气体透过部件的小室，以及将上述小室内的气体冷却至规定低温的冷冻机，而所述气体供给‑取出系统具有用于向上述小室中供给含有多种气体的混合气体的供给口、用于将上述特定气体被稀释后的气体取出的稀释气体取出口以及用于将上述特定气体已经浓缩了的气体取出的浓缩气体取出口；供给到上述小室内的上述含有多种气体的混合气体的上述稀释气体取出口，通过用上述冷冻机进行冷温化，使上述特定气体选择性地在上述粒子材料或上述气体透过部件的表面上结露，使上述特定气体以外的气体选择性地透过上述气体透过部件，由此实现上述特定气体的稀释化，而供给到上述小室内的上述含有多种气体的混合气体的上述浓缩气体取出口，通过将上述浓缩气体取出口的周围保持在比上述冷冻机导致的冷却温度高的温度，使在上述粒子材料或上述气体透过部件表面结露的上述特定气体蒸气化，由此实现上述特定气体的浓缩化，从上述小室的稀释气体取出口连续地取出上述特定气体的稀释气体，而且从上述小室的浓缩气体取出口连续地取出上述特定气体的浓缩气体。