发明名称 THIN FILM FORMING APPARATUS AND METHOD FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号 EP1609884(B1) 申请公布日期 2013.08.28
申请号 EP20040713655 申请日期 2004.02.23
申请人 KONICA MINOLTA HOLDINGS, INC. 发明人 MAEDA, KIKUO;TODA, YOSHIROU;FUKAZAWA, KOJI
分类号 C23C16/509;C23C16/44;C23C16/54;H01J37/32 主分类号 C23C16/509
代理机构 代理人
主权项
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