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发明名称
THIN FILM FORMING APPARATUS AND METHOD FOR FORMING THIN FILM
摘要
申请公布号
EP1609884(B1)
申请公布日期
2013.08.28
申请号
EP20040713655
申请日期
2004.02.23
申请人
KONICA MINOLTA HOLDINGS, INC.
发明人
MAEDA, KIKUO;TODA, YOSHIROU;FUKAZAWA, KOJI
分类号
C23C16/509;C23C16/44;C23C16/54;H01J37/32
主分类号
C23C16/509
代理机构
代理人
主权项
地址
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