发明名称 CAPACITIVE MICROMACHINED ULTRASONIC TRANSDUCER (cMUT) AND ITS PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 EP1781067(B1) 申请公布日期 2013.08.28
申请号 EP20050766367 申请日期 2005.07.15
申请人 OLYMPUS CORPORATION 发明人 ADACHI, HIDEO;WAKABAYASHI, KATSUHIRO;YASUNAGA, SHINJI;NEMOTO, KIYOSHI;MURAKAMI, MIYUKI
分类号 H04R19/00;H04R19/01;H04R31/00 主分类号 H04R19/00
代理机构 代理人
主权项
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