发明名称 MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEMS PACKAGE
摘要
申请公布号 KR20130095489(A) 申请公布日期 2013.08.28
申请号 KR20120016964 申请日期 2012.02.20
申请人 KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY 发明人 PARK, JAE HONG;SONG, MYEONG HO;KIM, TAE HYUN;KIM, HEE YEOUN;PARK, NAM SOO;HWANG, WOOK JUNG
分类号 B81C3/00;B81B7/02 主分类号 B81C3/00
代理机构 代理人
主权项
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