蒸镀装置、蒸镀方法和有机电致发光显示装置的制造方法

摘要

本发明的蒸镀装置（50）是对被成膜基板（60）进行成膜的蒸镀装置，其具备：具有射出蒸镀颗粒的射出口（81）的蒸镀源（80）；向蒸镀源（80）供给蒸镀颗粒的蒸镀源坩埚（82）；通过使蒸镀源（80）旋转来使蒸镀颗粒的射出量的分布发生变化的旋转电动机（86）。

主权项

一种蒸镀装置，其对被成膜基板进行成膜，该蒸镀装置的特征在于，包括：具有射出蒸镀颗粒的射出口的蒸镀源；向所述蒸镀源供给所述蒸镀颗粒的蒸镀颗粒供给单元；和使所述蒸镀颗粒的射出量的分布发生变化的射出量控制单元。