涂敷装置和涂敷方法

摘要

本发明提供能减少扬起的灰尘、缩短制造时间的涂敷装置和涂敷方法。涂敷功能各不同的门形架和载置着玻璃基板(17)的工件台(6)可在X(T)轴方向移动地设置在基台(1)上。当工件台位于A位置时，用门形架(2a)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第1涂敷动作。当工件台位于B位置时，用门形架(2b)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第2涂敷动作。当工件台位于C位置时，用门形架(2c)的涂敷头(8)在玻璃基板上进行第3涂敷动作。涂敷处理的玻璃基板在基板运入侧a从运入侧运送带(18a)保持着相同高度地被运送到工件台上，处理完毕的玻璃基板在基板运出侧b从工件台保持着相同高度地被运送到运出侧运送带(18b)上。

主权项

一种涂敷装置，在一台或多台架台上设置门形架，在该门形架上能移动地设有一个或多个涂敷头，该涂敷头备有充填了涂敷材料的材料收容筒和喷出来自该涂敷材料收容筒的涂敷材料的喷嘴喷出口；该门形架相对于设置在该架台上的基板载置台所搭载的基板移动，上述涂敷头相对于该门形架移动，从而该涂敷头相对于该基板移动，从上述喷嘴喷出口向上述基板上喷出上述涂敷材料；其特征在于，从外部向该基板载置台运入上述基板是在从运入侧运送带运入的高度保持为与该基板载置台上的基板载置面相同高度的状态下进行的，并且，从上述基板载置台向外部运出该基板是在从该基板载置台运出到运出侧运送带的高度保持为与上述基板载置台上的基板载置面相同高度的状态下进行的；该涂敷装置备有第1移动机构和第2移动机构；上述第1移动机构，使该基板载置台在载置着上述基板的状态下、从运入侧运送带运入的该基板载置的位置移动到将该基板运出到运出侧运送带的位置；上述第2移动机构，由设置在该基板载置台的背面侧的中央部的交叉滚子轴承和、对于该基板载置台背面的、从该交叉滚子轴承朝着不同方向且相互等距离的位置进行支承的XYθ轴方向微动机构构成，使载置在该基板载置台上的该基板以该基板载置台将该交叉滚子轴承的中心部作为中心的方式转动。