发明名称 |
一种具有辅助开口的掩模板 |
摘要 |
本实用新型公开了一种掩模板主体,所述掩模板主体上有掩模图案,所述掩模图案由掩模开口组成;辅助开口图案,所述辅助开口图案由辅助开口构成,所述辅助开口位于所述掩模板主体上,并分布在所述掩模图案两侧,所述辅助开口长度方向与所说掩模开口长度方向平行。通过设置辅助开口,使绷网后的掩模板的掩模区域受力均衡,避免了因绷网后掩模区域边缘处开口间狭长金属丝因受力过小,产生下垂,而导致开口精度不高的缺陷,提高开口精度,从而提高蒸镀质量。 |
申请公布号 |
CN203159696U |
申请公布日期 |
2013.08.28 |
申请号 |
CN201320094230.X |
申请日期 |
2013.03.01 |
申请人 |
昆山允升吉光电科技有限公司 |
发明人 |
魏志凌;高小平;潘世珎;刘学明 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种具有辅助开口的掩模板,其特征在于,包括:掩模板主体,所述掩模板主体上有掩模图案,所述掩模图案由掩模开口组成;辅助开口图案,所述辅助开口图案由辅助开口构成,所述辅助开口位于所述掩模板主体上,并分布在所述掩模图案两侧,所述辅助开口长度方向与所说掩模开口长度方向平行。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 |