发明名称 一种具有辅助开口的掩模板
摘要 本实用新型公开了一种掩模板主体,所述掩模板主体上有掩模图案,所述掩模图案由掩模开口组成;辅助开口图案,所述辅助开口图案由辅助开口构成,所述辅助开口位于所述掩模板主体上,并分布在所述掩模图案两侧,所述辅助开口长度方向与所说掩模开口长度方向平行。通过设置辅助开口,使绷网后的掩模板的掩模区域受力均衡,避免了因绷网后掩模区域边缘处开口间狭长金属丝因受力过小,产生下垂,而导致开口精度不高的缺陷,提高开口精度,从而提高蒸镀质量。
申请公布号 CN203159696U 申请公布日期 2013.08.28
申请号 CN201320094230.X 申请日期 2013.03.01
申请人 昆山允升吉光电科技有限公司 发明人 魏志凌;高小平;潘世珎;刘学明
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种具有辅助开口的掩模板,其特征在于,包括:掩模板主体,所述掩模板主体上有掩模图案,所述掩模图案由掩模开口组成;辅助开口图案,所述辅助开口图案由辅助开口构成,所述辅助开口位于所述掩模板主体上,并分布在所述掩模图案两侧,所述辅助开口长度方向与所说掩模开口长度方向平行。
地址 215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号