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发明名称
摘要
申请公布号	JP5277348(B2)	申请公布日期	2013.08.28
申请号	JP20120510185	申请日期	2010.04.13
申请人		发明人
分类号	H01L21/027;G03F9/00	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
地址

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