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发明名称
摘要
申请公布号	JP5276662(B2)	申请公布日期	2013.08.28
申请号	JP20100520131	申请日期	2008.07.29
申请人		发明人
分类号	G03F7/42;H01L21/027;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/768	主分类号	G03F7/42
代理机构		代理人
主权项
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