发明名称 一种掩模框架及其对应的掩模组件
摘要 本实用新型公开了一种掩模框架及其对应的掩模组件,包括边框、连接机构、强化槽,其特征在于,所述边框为两组对边构成的中空框架结构,所述强化槽为平行于所述对边长度方向的长条通孔且设置在所述对边上,所述对边上有穿过所述长条通孔的孔,所述孔被所述长条通孔截断形成内侧孔和外侧孔,所述外侧孔为通孔,所述连接机构是一端具有直径大于所述外侧孔直径的端部及具有外螺纹的杆部,所述内侧孔有螺纹且与所述杆部连接;本实用新型提供的掩模框架通过利用强化槽和连接机构强化的作用下,可以再次将掩模板绷紧以克服下垂问题,解决掩模板中部下垂的问题,保证了大尺寸产品的最终品质。
申请公布号 CN203159697U 申请公布日期 2013.08.28
申请号 CN201320094364.1 申请日期 2013.03.01
申请人 昆山允升吉光电科技有限公司 发明人 魏志凌;高小平;潘世珎;张炜平
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种掩模框架,包括边框、连接机构、强化槽,其特征在于,所述边框为两组对边构成的中空框架结构,所述强化槽为平行于所述对边长度方向的长条通孔且设置在所述对边上,所述对边上有穿过所述长条通孔的孔,所述孔被所述长条通孔截断形成内侧孔和外侧孔,所述外侧孔为通孔,所述连接机构是一端具有直径大于所述外侧孔直径的端部及具有外螺纹的杆部,所述内侧孔有螺纹且与所述杆部连接。
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