光波导路组件的制造方法

摘要

本发明提供一种光波导路组件的制造方法，能以稳定的精度形成光的反射部，其生产效率高。在光学元件被安装在光波导路的端部的背面侧的光波导路组件的制造方法中，上述光波导路的制作利用使用了成形模具(10)的模具成形法，以覆盖了芯(5)的状态将上敷层(6)形成在表面侧的同时，将与光波导路的端部相对应的上敷层(6)的端部形成为反射部(6a)。

主权项

一种光波导路组件的制造方法，其用于制造光波导路组件，该光波导路组件包括：具有下敷层、形成在该下敷层的表面的芯和覆盖该芯的上敷层的光波导路；在该光波导路的背面侧与上述光波导路的端部相关联地安装的光学元件；能将光反射而在上述芯和上述光学元件之间进行光传播的反射部，其特征在于，该光波导路组件的制造方法包括如下工序：利用下述模具成形法A或模具成形法B形成上述上敷层的同时，将与上述光波导路的端部相对应的上敷层的端部形成为反射部；直接在上述光波导路的下敷层的背面形成导电配线；将上述光学元件连接于上述导电配线的与上述光波导路的端部的上述反射部相对应的部分来安装上述光学元件，模具成形法A：准备成形模具，该成形模具上形成了具有与上敷层的表面形状相对应的模面的凹部和与该凹部的一部分连通的注入孔，在将芯定位在该成形模具的上述凹部内的状态下，使该凹部的开口面与下敷层的表面紧密接触，在该状态下，自上述注入孔将用于形成上敷层的感光性树脂注入到由上述凹部的模面、下敷层的表面、芯的表面围成的成形空间并使该用于形成上敷层的感光性树脂充满上述成形空间之后，在透过上述成形模具利用照射线对进行曝光后进行加热处理，使上述感光性树脂固化；模具成形法B：以覆盖芯的方式在下敷层的表面涂布了用于形成上敷层的感光性树脂后，适当地调整对该涂布层的照射线的曝光、加热处理来形成半固化的感光性树脂层，或者，通过涂布上述感光性树脂来形成未固化的感光性树脂层，使形成了具有与上敷层的表面形状相对应的模面的凹部而未形成有与该凹部连通的注入孔的成形模具对半固化或未固化的感光性树 脂层进行冲压，将芯定位在该成形模具的上述凹部内并且使该凹部的开口面与下敷层的表面紧密接触，在该状态下，在透过上述成形模具利用照射线对进行曝光后进行加热处理，使上述感光性树脂层固化。