| 发明名称 | 一种高热稳定性无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及高热稳定性无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料的制备方法，其特征在于是以单晶Si(111)片作为衬底材料，选用高纯Cu靶和Ru靶，固定Cu靶功率为80±10W，在(3-15)±1W范围内改变Ru靶的溅射功率进而改变Cu(Ru)合金互连材料中固溶相Ru的含量，通过直流磁控共焦溅射方法获得。能得到高热稳定性的无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料并且仍然保持优良的电学性能，更好的保证了其实际应用。本发明操作简单，重复性好，实现效果良好。 | ||
| 申请公布号 | CN103266304A | 申请公布日期 | 2013.08.28 |
| 申请号 | CN201310215242.8 | 申请日期 | 2013.05.31 |
| 申请人 | 江苏科技大学 | 发明人 | 汪蕾;王阳;董松涛;黄婷 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人 | 楼高潮 |
| 主权项 | 高热稳定性无扩散阻挡层Cu(Ru)合金材料的制备方法，其特征在于是以单晶Si(111)片作为衬底材料，选用高纯Cu靶和Ru靶，固定Cu靶功率为80±10W，在(3‑15)±1W范围内改变Ru靶的溅射功率进而改变Cu(Ru)合金互连材料中固溶相Ru的含量，通过直流磁控共焦溅射方法获得。 | ||
| 地址 | 212003 江苏省镇江市梦溪路2号 | ||