一种MEMS光学扫描探头

摘要

本实用新型公开了一种基于MEMS的侧前向扫描光学探头及其实现方法，外管内设置有基座和安装在基座上的光纤和透镜，基座前方设置有MEMS微镜A或反射镜A，反射镜B或MEMS微镜B设置于透镜前方，且反射镜B或MEMS微镜B的镜面与透镜轴线成一钝角，所述外管的最前端设置有窗口，所述窗口与外管的轴向方向呈预定角度。本实用新型所述的MEMS光学扫描探头既能实现对组织样品侧壁的侧向扫描成像，又能实现对人体内脏器官和较隐蔽组织的扫描成像，同时兼顾侧向扫描探头和前向扫描探头的功能，可实现侧前向扫描。

主权项

一种基于MEMS的侧前向扫描光学探头,其特征在于；外管(38)内设置有基座(32)和安装在基座上的光纤(31)和透镜(33)，基座(32)前方设置有MEMS微镜B(37b)或反射镜A(34a)，反射镜B(34b)或MEMS微镜A(37a)设置于透镜(33)前方，且反射镜B(34b)或MEMS微镜A(37a)的镜面与透镜(33)轴线成一钝角，所述外管(38)的最前端设置有窗口(35)，所述窗口(35)与外管(38)的轴向方向呈预定角度。