导模法生长多条晶体的生长装置

摘要

本实用新型涉及一种导模法生长多条晶体的生长装置，包括单晶生长炉，单晶生长炉的炉腔与抽真空装置连接，单晶生长炉的炉腔底部设有坩埚托座，坩埚托座上设置坩埚，坩埚的外侧设有四周保温筒，四周保温筒的顶部设有上保温罩，四周保温筒的底部设有下保温罩，在坩埚和四周保温筒的之间设有筒形高温环境提供发热体，在上保温罩上设有上生长梯度提供发热体，在下保温罩上设有下生长梯度提供发热体；其特征是：在所述坩埚内部固定安装有多组模具，每组模具上侧均设有可上下伸缩的旋转提拉杆。本实用新型所述导模法生长多条晶体的生长装置能够实现对多颗晶体生长的同时及独立控制，取代了常规的导模法单片生长方式，提高了生产效率。

主权项

一种导模法生长多条晶体的生长装置，包括单晶生长炉（1），单晶生长炉（1）的炉腔与抽真空装置（2）连接，单晶生长炉（1）的炉腔底部设有坩埚托座（3），坩埚托座（3）上设置坩埚（4），坩埚（4）的外侧设有四周保温筒（5），四周保温筒（5）的顶部设有上保温罩（6），四周保温筒（5）的底部设有下保温罩（7），在坩埚（4）和四周保温筒（5）的之间设有筒形高温环境提供发热体（8），在上保温罩（6）上设有上生长梯度提供发热体（9），在下保温罩（7）上设有下生长梯度提供发热体（10）；其特征是：在所述坩埚（4）内部固定安装有多组模具（11），每组模具（11）上侧均设有可上下伸缩和旋转的提拉杆（12）。