分散板及具有该分散板的镀膜装置

摘要

本发明公开了一种分散板及具有该分散板的镀膜装置，所述分散板上具有：有效区，所述有效区均匀设置有多个用于气体通过的气体孔；以及位于所述有效区外围的无效区，与待镀膜基板的无效区的位置相对应，用于所述分散板与外部装置的连接，所述无效区具有多条切割线。本发明可以减少分散板变形，改善气体分布，增加上电极装置内的气体分布稳定性，进而能够提高镀膜装置的膜厚均匀性。

主权项

一种分散板，用于镀膜装置，其中，所述分散板上具有：有效区，所述有效区均匀设置有多个用于气体通过的气体孔；以及位于所述有效区外围的无效区，与待镀膜基板的无效区的位置相对应，用于所述分散板与外部装置的连接，所述无效区具有多条切割线。