主权项 |
一种超短脉冲激光烧蚀氮化硅的模拟计算方法,其特征在于该方法包括以下步骤:A、建立超短脉冲激光烧蚀氮化硅的烧蚀模型,并对模型常量进行参数初始化,同时定义所建模型中氮化硅发生烧蚀时的等离子体密度边界条件ρcr为1.6×1021cm‑3;B、确定激光波长,设定脉宽计算范围为10fs~10ps,对氮化硅烧蚀阈值进行计算;当导带电子密度超过临界等离子体密度,即ρc(x,t)>ρcr时,氮化硅产生损伤,当ρc(x,t)≤ρcr时,须对初始变量进行重新赋值计算;C、设定激光能量密度取值域为1J/cm2~8J/cm2,基于阈值结果对烧蚀深度进行模拟;在单脉冲烧蚀形貌为圆锥形状的体积建模假设条件下,建立烧蚀体积模型,并定义激光束腰半径,进而利用烧蚀深度模拟结果得到相应条件下的烧蚀体积;所述的体积模型为 <mrow> <mi>V</mi> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <mi>x</mi> <mo>·</mo> <msup> <msub> <mi>πω</mi> <mn>0</mn> </msub> <mn>2</mn> </msup> </mrow> <mn>6</mn> </mfrac> <mi>ln</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mfrac> <mi>F</mi> <msub> <mi>F</mi> <mi>th</mi> </msub> </mfrac> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>式中:V为烧蚀体积,x为烧蚀深度,ω0为束腰半径,Fth为烧蚀阈值,F为能量密度;D、建立扫描速度v、线重叠率δ与残留高度Δx的关系模型,定义烧蚀残留高度边界条件,并将阈值和深度模型计算结果加载到残留高度模型中;所述的扫描速度v与残留高度Δx的关系模型为 <mrow> <mi>v</mi> <mo>=</mo> <mi>ΔL</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>f</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> <mi>ξD</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>f</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> <mo>=</mo> <mfrac> <mi>Δx</mi> <mi>x</mi> </mfrac> <mo>×</mo> <mn>100</mn> <mo>%</mo> <mo>·</mo> <mi>D</mi> <mrow> <mo>(</mo> <mi>f</mi> <mo>-</mo> <mn>1</mn> <mo>)</mo> </mrow> </mrow>式中:ΔL为在扫描速度方向上的两脉冲间距,ξ为相对残留高度,D为烧蚀直径,f为脉冲频率,x为烧蚀深度;Δx为残留高度,是指烧蚀轮廓峰顶线和轮廓谷底线之间的距离;所述的线重叠率δ与残留高度Δx的关系模型为 <mrow> <mi>δ</mi> <mo>=</mo> <mfrac> <mrow> <mo>(</mo> <mi>d</mi> <mo>-</mo> <mi>Δd</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mi>d</mi> </mfrac> <mo>×</mo> <mn>100</mn> <mo>%</mo> <mo>=</mo> <mrow> <mo>(</mo> <mn>1</mn> <mo>-</mo> <mi>ξ</mi> <mo>)</mo> </mrow> <mo>×</mo> <mn>100</mn> <mo>%</mo> </mrow>式中:Δd为烧蚀线间距,Δd=ξd;d为烧蚀线宽度,d=D;E、对脉冲频率进行赋值,并在能量密度为4.0J/cm2~8.0J/cm2,扫描速度为0~3mm/s条件下对残留高度进行计算;若Δx>Δxmax,不满足要求,重新输入变量计算;若Δx≤Δxmax,满足加工精度,输出指导参数,完成模拟计算。 |