一种硅片精洗装置

摘要

本实用新型涉及一种硅片精洗装置，所述装置包括上料部件、传送部件、清洗部件、卸料部件，本实用新型在现有硅片清洗设备加设了精洗装置，使得硅片中的金属离子一次性去除，节省了后续工作，从而提高了生产效率，降低了生产成本，本实用新型结构简单，成本低，效果明显，有较好的应用前景。

主权项

一种硅片精洗装置，其特征在于，所述装置包括上料部件、传送部件、清洗部件、卸料部件，所述上料部件通过清洗部件与卸料部件连接，所述传送部件设置在上料部件上。