LiSiPON锂离子电池固态电解质薄膜及其制备方法与应用

摘要

本发明公开了一种LiSiPON锂离子电池固态电解质薄膜的制备方法。它是由N2:Ar体积流量比为1：5-1的离子束轰击Li3PO4和Si3N4，得到的厚为80nm~150nm的LiSiPON薄膜。本发明同时公开了LiSiPON锂离子电池固态电解质薄膜在制备微型全固态锂电池材料方面的应用。通过实验得到提高N2的比例有效提高薄膜中的含氮量，并在最佳配比：氮氩流量比为1：1时，其离子电导率可达6.8×10-6S/cm。结合薄膜电极可组装为全固态薄膜锂离子电池，本发明所述的方法不仅成本低，工艺简单，而且制备的薄膜致密均匀，制备条件可控性强，便于规模商业化生产。

主权项

一种LiSiPON锂离子电池固态电解质薄膜，其特征在于它是由N2:Ar体积流量比为1：5‑1的离子束轰击Li3PO4和Si3N4，得到的厚为80nm~150nm 的LiSiPON薄膜。