| 发明名称 | 多晶硅片的制绒剂及利用该制绒剂的制绒方法 | ||
| 摘要 | 一种多晶硅片的制绒剂，其特征在于包括如下组分及其体积配比组成：硝酸40%～55%；氢氟酸8%～12%；添加剂0.1%～0.5%；水32.5%～51.9%；添加剂包括由如下组分及其重量配比组成：阴离子表面活性剂10%～15%；亚硝酸盐5%～10%；水75%～85%。本发明还公开了利用制绒剂的制绒方法。本发明的制绒剂使用寿命较长，制绒时能有效减缓腐蚀速率，提高制绒质量。 | ||
| 申请公布号 | CN103266355A | 申请公布日期 | 2013.08.28 |
| 申请号 | CN201310155993.5 | 申请日期 | 2013.04.27 |
| 申请人 | 竺峰 | 发明人 | 孙励斌;竺峰 |
| 分类号 | C30B33/10(2006.01)I;C23F1/24(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 主分类号 | C30B33/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 | 代理人 | 景丰强 |
| 主权项 | 一种多晶硅片的制绒剂，其特征在于包括如下组分及其体积配比组成：硝酸 40%～55%；氢氟酸 8%～12%；添加剂 0.1%～0.5%；水 32.5%～51.9%；前述的添加剂包括由如下组分及其重量配比组成：阴离子表面活性剂 10%～15%；亚硝酸盐 5%～10%；水 75%～85%。 | ||
| 地址 | 315032 浙江省宁波市江北区海川路66号 | ||