大面积大气等离子体均匀放电电极

摘要

大面积大气等离子体均匀放电电极，本发明属于光学加工领域。它是为了解决现有大面积大气等离子体放电产生的交变电流在趋近电极边缘处有电流密度增大的趋肤效应，导致大面积电极放电不均匀，而严重影响了大气等离子体加工技术的精度和效率的问题。它的形状为扁片形；其放电面上设置有多个凸起形微电极，所有凸起形微电极的形状尺寸相同，所有凸起形微电极与相邻凸起形微电极的相互之间的距离都相等，所有凸起形微电极的放电表面都与其相对的被加工面的距离相等。本发明能实现大气等离子体大面积均匀放电，避免了大气环境下连续表面电极激发等离子体因趋肤效应和边缘放电效应导致放电不均匀现象，从而有效提高大气等离子体加工精度和效率。

主权项

大面积大气等离子体均匀放电电极，其特征在于它的形状为扁片形；其放电面（1）上设置有多个凸起形微电极（2），所有凸起形微电极（2）的形状尺寸相同，所有凸起形微电极（2）与相邻凸起形微电极（2）的相互之间的距离都相等，所有凸起形微电极（2）的放电表面与其相对的被加工面的距离都相等；在放电面（1）的外表面上用微弧氧化技术或等离子体喷涂技术覆盖一层绝缘介质层。