具有改进的热稳定度的流量计与使用方法

摘要

本发明公开用于控制流向处理腔室的流量的装置和方法。该装置包括：流量计；入口管，该入口管与该流量计流体连通；出口管，该出口管与该流量计的该出口流体连通；和绝热体，该绝热体围绕该流量计的至少一部分、该入口管的至少一部分和该出口管的至少一部分。

主权项

一种用于控制流向处理腔室的流量的装置，所述装置包括：流量计，所述流量计包括入口端口、出口端口、第一温度传感器、第二温度传感器和热元件，所述热元件设置在所述第一温度传感器与所述第二温度传感器之间，以加热或冷却流经所述装置的流体；入口管，所述入口管用于与流体源流体连通，并且所述入口管连接至所述流量计的所述入口端口，并且所述入口管与所述流量计的所述入口端口流体连通；出口管，所述出口管连接至所述流量计的所述出口端口，并且所述出口管与所述流量计的所述出口端口流体连通，以将流体输送至所述腔室；和绝热体，所述绝热体围绕所述流量计的至少一部分、所述入口管的至少一部分和所述出口管的至少一部分，以将所述装置隔离所述入口管与所述出口管之间的环境温度变动，进而减小由所述温度变动所产生的流速变动。