发明名称 |
用于基底的固位器和用于涂覆基底的方法 |
摘要 |
本发明涉及一种用于待涂覆的基底的固位器,该固位器包括用于待涂覆的基底的接触面。例如,该固位器被构造成平板,所述基底被置于该平板上,且该平板具有一个或多个开孔,例如钻孔、凹槽等,通过该开孔,可以在所述基底的面和所述固位器的相对面之间形成压力梯度。用这种方式,通过吸力将所述基底暂时固定到所述固位器上是可能的。本发明还涉及一种使用根据本发明的固位器来涂覆基底的方法。 |
申请公布号 |
CN103270192A |
申请公布日期 |
2013.08.28 |
申请号 |
CN201180062545.X |
申请日期 |
2011.12.19 |
申请人 |
弗劳恩霍弗应用技术研究院 |
发明人 |
斯蒂芬·雷伯;诺伯特·希林格;马丁·阿诺德;戴维·波卡扎 |
分类号 |
C23C14/50(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;B25J15/06(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/50(2006.01)I |
代理机构 |
北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 |
代理人 |
杨黎峰 |
主权项 |
一种用于待涂覆的基底(2)的固位器(1),所述固位器(1)包括用于所述待涂覆的基底(2)的支撑装置(3),所述支撑装置(3)具有用于支撑所述基底(2)的平面结构的前侧以及与所述前侧相对定位的后侧,其特征在于,存在至少一个连续的开孔(4),所述开孔(4)连接所述支撑装置(3)的两侧,通过所述开孔(4)可控制在所述基底(2)的一侧上持续存在的气体压力。 |
地址 |
德国慕尼黑 |