高效抽真空设备

摘要

本实用新型公开了一种高效抽真空设备，包括真空腔体、用于抽高真空的扩散泵和用于抽低真空的滑阀泵，所述真空腔体上设有第一管道连通所述滑阀泵；所述扩散泵的一端直接连接到第一管道靠近所述真空腔体一端，另一端通过第二管道连接到所述第一管道靠近所述滑阀泵一端；在所述第一管道和所述扩散泵连接处设有高抽阀，该高抽阀能使所述真空腔体通过第一管道与扩散泵和滑阀泵之一连通，在所述高抽阀和扩散泵之间设有冷却装置。该高效抽真空设备通过在连接扩散泵和真空腔体之间的高抽阀下设置一冷却装置，可以有效将扩散泵产生的多余热量吸收，从而避免反油现象发生，保证真空腔体内工艺的稳定性和扩散泵抽取真空的速度。

主权项

一种高效抽真空设备，包括真空腔体（1）、用于抽高真空的扩散泵（2）和用于抽低真空的滑阀泵（3），所述真空腔体上设有第一管道（4）连通所述滑阀泵；所述扩散泵的一端直接连接到第一管道靠近所述真空腔体一端，另一端通过第二管道（5）连接到所述第一管道靠近所述滑阀泵一端；在所述第一管道和所述扩散泵连接处设有高抽阀（6），该高抽阀能使所述真空腔体通过第一管道与扩散泵和滑阀泵之一连通，其特征在于：在所述高抽阀（6）和扩散泵（2）之间设有冷却装置（7）。