发明名称 一种新型石英炉管
摘要 本实用新型涉及一种新型石英炉管,包括管体,还包括凸起部件,所述凸起部件与管体一体成型制成;本实用新型通过在管体口外侧加设凸起部件,从而增大了石英炉管与炉门的接触面积,增大了密封性,同时使得石英炉管整体的应力增大,尤其当扩散炉石英管炉口壁与扩散炉门接触,减少了石英炉门与石英炉管硬性接触造成的崩边现象,从而大大延长的石英炉管的使用寿命,本实用新型结构简单,成本低,效果明显,有较好的应用前景。
申请公布号 CN203165929U 申请公布日期 2013.08.28
申请号 CN201320088525.6 申请日期 2013.02.27
申请人 上海艾力克新能源有限公司 发明人 唐传勇;唐剑锋;冯麒
分类号 H01L31/18(2006.01)I;C30B31/16(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种新型石英炉管,包括管体,其特征在于,还包括凸起部件,所述凸起部件与管体一体成型制成。
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