一种多弧离子镀超晶格纳米复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种多弧离子镀超晶格纳米复合涂层及其制备方法，本发明涂层的立方结构的TiN层和六方结构的AlSiN层交替沉积在纳米过渡层上，所述纳米过渡层是Ti/TiN的复合物层，所述六方结构的AlSiN层的界面上设有立方结构的AlSiN层。制备方法中：将抛光、清洗后的工件夹持在夹具上，夹具设置在转台上，转台位于真空室中；往真空室内通入Ar气，加负偏压对工件表面进行Ar离子轰击清洗，去除工件表面残余物后，降低负偏压；启动第一中频电弧源，沉积生成Ti层，然后通入N2气体，沉积生成TiN层；启动第二中频电弧源，通入N2气体，交替沉积生成立方结构的TiN层和六方结构的AlSiN层，真空室冷却到室温即可。

主权项

一种多弧离子镀超晶格纳米复合涂层，其特征在于，包括纳米过渡层、立方结构的TiN层和六方结构的AlSiN层，所述立方结构的TiN层和六方结构的AlSiN层交替沉积在纳米过渡层上，所述纳米过渡层是Ti/TiN的复合物层，所述六方结构的AlSiN层的界面上设有立方结构的AlSiN层；所述纳米复合涂层中含有晶化的Si3N4相。