发明名称 THE VACCUM CHUCK MOLDED WAFER MANUFACTURING
摘要
申请公布号 KR20130095466(A) 申请公布日期 2013.08.28
申请号 KR20120016926 申请日期 2012.02.20
申请人 RPS CO., LTD. 发明人 YOOK, IN SOO;CHO, JI HOON
分类号 H01L21/687 主分类号 H01L21/687
代理机构 代理人
主权项
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