发明名称 Verfahren zum Ätzen von Metallen, ausgewählt aus Nickel, Chrom, Nickel-Chrom-Legierungen und/oder Palladium
摘要 Verfahren zum Ätzen wenigstens eines Metalls, ausgewählt aus Nickel, Chrom, Nickel-Chrom-Legierungen und/oder Palladium, wobei zunächst eine erste Ätzmittellösung und dann eine zweite Ätzmittellösung mit dem Metall in Kontakt gebracht wird, wobei die erste Ätzmittellösung wenigstens die folgenden Komponenten A bis C umfasst: A: Salzsäure; B: wenigstens eine Verbindung, ausgewählt aus (a) Verbindungen mit 7 oder weniger Kohlenstoffatomen, welche (ein) Schwefelatom(e) und wenigstens eine Gruppe, ausgewählt aus einer Aminogruppe, einer Iminogruppe, einer Carboxylgruppe, einer Carbonylgruppe und einer Hydroxylgruppe, enthält; (b) Thiazol; und (c) Thiazolverbindungen und C: ein Tensid, und die zweite Ätzmittellösung, Salzsäure, Salpetersäure und eine Kupfer(II)-Ionenquelle umfasst.
申请公布号 DE102004064161(B4) 申请公布日期 2013.08.22
申请号 DE20041064161 申请日期 2004.11.04
申请人 MEC COMPANY LTD. 发明人 KURIYAMA, MASAYO;OGUSHI, RYO;AKIYAMA, DAISAKU;URUSHIBATA, KAORU
分类号 C23F1/16;C23F1/26;C23F1/28;C23F1/30;H01L21/306;H05K3/18;H05K3/26 主分类号 C23F1/16
代理机构 代理人
主权项
地址