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<p>Eine Lithographievorrichtung (10) umfasst eine Dämpfungsvorrichtung (30, 70) zur Dämpfung der Bewegung eines Strukturelements (13) der Lithographievorrichtung (10), wobei die Dämpfungsvorrichtung (30, 70) als Wirbelstrombremse ausgebildet ist und mehrere Magnete aufweist, die entlang eines Kreisbogens angeordnet sind.</p> |
