Optisches Bauelement

摘要

Ein optisches Bauelement (40) umfasst ein Spiegel-Array (22) mit einer Vielzahl von Spiegel-Elementen (23), welche jeweils mit mindestens einem Aktuator (131) zur Verlagerung verbunden sind, eine Vielzahl von Signalleitungen (47) zur signalübertragenden Verbindung der Aktuatoren (131) mit einer externen, globalen Steuer-/Regel-Einrichtung (134) zur Vorgabe einer absoluten Position der einzelnen Spiegel-Elemente (23) und eine Vielzahl von lokalen Regel-Einrichtungen (136) zur Regelung der Positionierung der Spiegel-Elemente (23), wobei die Regel-Einrichtungen (136) jeweils vollständig in das Bauelement (40; 40a) integriert sind.