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发明名称 MODULATION DEVICE AND CHARGED PARTICLE MULTI-BEAMLET LITHOGRAPHY SYSTEM USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20130093646(A) 申请公布日期 2013.08.22
申请号 KR20137013374 申请日期 2011.10.26
申请人 MAPPER LITHOGRAPHY IP B.V. 发明人 WIELAND MARCO JAN JACO;VAN DE PEUT TEUNIS;VAN VEEN ALEXANDER HENDRIK VINCENT;JAGER REMCO;STEENBRINK STIJN WILLEM HERMAN KAREL
分类号 H01J37/04;H01J37/22;H01J37/317 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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