精准定位装置

摘要

本创作系揭露一种精准定位装置。根据本创作之精准定位装置，具有定位精准、3D补偿以及大面积定位之特点；传统之定位装置大多使用光学尺做为X轴与Y轴之定位，当伺服马达(线性马达)带动台面运转时，由于导轨、滑块、台面、光学尺、伺服马达(线性马达)及组合之误差，因此会产生X、Y及Z轴严重的3D偏移误差；本创作之精准定位装置可以完全解决X、Y及Z轴的3D偏移误差，使机器或设备定位精准。